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從單位體積內微塵數量來定義10萬級凈化車間標準
十萬級凈化車間微塵允許數是：大或等于0.5微米的粒子數，每立方米內不得超過3500000個；大或等于5微米的粒子數，每立方米內不得超過20000個。
第五、從微生物允許數量來定義10萬級凈化車間標準
十萬級凈化車間微生物允許數是：浮游菌數不超過500個每立方米;沉降菌數不超過10個每培養皿。
電子制造業溫濕度標準：芯片生產車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造業潔凈室的重要組成部分，由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和質量要求極其嚴格，主要以控制顆粒和粉塵為主要對象，冷卻水管壁就會凝結，如果發生在精密裝置或回路中，就會造成各種事故，所以無塵車間的溫度和濕度應該有一定的標準。
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